真空接觸器熄弧能力強，耐壓性能好，操作頻率較高，壽命長，無電弧外噴，體積小、重量輕、維修周期較長。真空接觸器的真空滅弧室制造時工藝要求很高，如果工藝不良，滅弧室的真空容易下降。觸頭材料材質不好，在分斷電流時會出現 截流過電壓現象，即在分斷電流時，由于真空滅弧室的熄弧能力很強，電弧電流不是自然過零時切斷，而是從電流的某一值突然降到零，由此而出現高的過電壓。截流電壓會危及電氣設備的安全運行。